三维形貌测量

客户需求：

• X-Y-Z轴平台，搭载镜头和传感器实现表面形貌测量应用。

• Z轴需要搭载2.5kg镜头组件，运动要求极高的匀速性。

• 由于光学焦平面需要调整，Z轴必须借助直线驱动调整，修正后精度可以实现±2μm。

我们的方案和使用效果：

• Lxu 80F60系列，配1μm分辨率光栅，Z轴重力补偿系统。

• 双向重复精度1.2μm。